三、安裝說(shuō)明1、工作環(huán)境的溫度：≤35℃（特殊工作環(huán)境需客戶事先說(shuō)明）。2、工作環(huán)境的相對(duì)濕度：≤85％。3、室內(nèi)應(yīng)無(wú)易燃易爆氣體及導(dǎo)電粉塵。4、室內(nèi)有 220V 或380V交流電源。5、放置本機(jī)的地面要求平整，注意將設(shè)備平穩(wěn)放在地面，就位后鎖死滾輪。6、檢查密封性：因?yàn)檫\(yùn)輸原因，收貨后根據(jù)情況進(jìn)行檢漏。7、連接好復(fù)合調(diào)節(jié)的驅(qū)動(dòng)氣。8、高壓出氣管路必須采用不銹鋼或者耐壓型管路。
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Q： 臭氧在管式爐 ALD 前驅(qū)體氧化中的應(yīng)用與優(yōu)化流程
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Q： 臭氧管式爐生長(zhǎng)高質(zhì)量氧化物薄膜的實(shí)驗(yàn)流程與機(jī)理解析
A：介紹臭氧在管式爐中生長(zhǎng)高質(zhì)量氧化物薄膜的實(shí)驗(yàn)方法與機(jī)理，包括 O? 輔助生長(zhǎng)流程、溫度/濃度/流量參數(shù)、表征方法及安全注；
Q： 臭氧在二維材料（MoS?、h-BN）生長(zhǎng)與表面活化中的作用：
A：臭氧在二維材料（MoS?、h-BN）生長(zhǎng)與表面活化中的作用：機(jī)理、工藝與表征一、摘要（Abstract）臭氧 (O?) ；
Q： 臭氧輔助氧化法前驅(qū)體處理及管式爐退火機(jī)理
A：一、摘要本文系統(tǒng)介紹了臭氧 (O?) 在前驅(qū)體處理與管式爐退火實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用。臭氧可在低溫提供活性氧，有效改善前驅(qū)體氧化、；
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