3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平,它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見,本機(jī)具有足夠的安全措施。
優(yōu)勢:
●超高純臭氧制備●臭氧濃度高于99.5%●液化池容積限制設(shè)計●安全閥設(shè)計●急停設(shè)計
產(chǎn)品特點● 全金屬密封臭氧液化池● 無硅膠吸附劑● 閉循環(huán)制冷機(jī)自動控溫● 提純速度快,準(zhǔn)備時間只需30分鐘;提純1小時,能產(chǎn)出約4標(biāo)升高純臭氧氣體,可滿足大部分用戶十小時以上的生長需求● 設(shè)計緊湊● 操作簡便,即起即停● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域:化學(xué)氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性
日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后,生成99.99%濃度臭氧。可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理
臭氧應(yīng)用
同林臭氧設(shè)備科研院校合作單位
清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、浙江大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、中國農(nóng)業(yè)大學(xué)、南京大學(xué)、天津大學(xué)、華東理工大學(xué)、上海交通大學(xué)、南開大學(xué)、中國地質(zhì)大學(xué)、廈門大學(xué)、北京林業(yè)大學(xué)、中國礦業(yè)大學(xué)、首都醫(yī)科大學(xué)、北大醫(yī)學(xué)院、山西大學(xué)、新疆大學(xué)、鄭州大學(xué)、山東大學(xué)、西南交通大學(xué)、中國疾控中心、北京化工大學(xué)、北京科技大學(xué)、華北電力大學(xué)、上海理工大學(xué)、暨南大學(xué)、山西醫(yī)科大學(xué)、中國軍事醫(yī)學(xué)科學(xué)院、中國環(huán)境科學(xué)院、北京環(huán)境科學(xué)院、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、中國石油大學(xué)、四川大學(xué)、重慶大學(xué)、香港大學(xué)、香港城市大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)、華南師范、華東師范、華中師范、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、白馬湖實驗室、北京農(nóng)科院、中國水利水電科學(xué)研究院、中國氣象科學(xué)研究院等
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