高精度臭氧發生器提供MBE臭氧源現場
應用背景：
某高校材料科學實驗室致力于開發高性能材料，需要在其科研級MBE設備上沉積高質量、均勻的Al?O?柵介質薄膜。該工藝對前驅體（TMA）與反應氣體（臭氧）的精確配比和穩定性要求極高，臭氧的濃度、純度及流量直接影響薄膜的致密性、生長速率和電學性能。
解決方案：
采用北京同林M1000高精度臭氧發生器。該設備以其1-110 mg/L的寬范圍、10檔精密可調功能，完美匹配工藝摸索階段對參數精細化的需求。研究人員可精準重復任何特定濃度（如85 mg/L），確保了實驗數據的高度重復性與可比性。
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