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實驗現場
半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統
來源:www.wt128.cn 發布時間:2025-05-23 17:14:57 瀏覽次數:

單位名稱:半導體企業
實驗內容:ALD
臭氧機型:3S-B20

半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統

202505161234528.jpg

 3S-B20臭氧輸送系統,配置Apex H30 高濃度臭氧發生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設計,體積小、濃度高、穩定性好,是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。


半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統

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 3S-B20臭氧輸送系統,配置Apex H30 高濃度臭氧發生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設計,體積小、濃度高、穩定性好,是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。


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