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ALD反應系統用臭氧發生系統介紹

來源：www.wt128.cn 發布時間：2025-07-18 09:16:14 瀏覽次數：

北京同林科技臭氧發生系統用于為 ALD 反應系統提供穩定、高濃度 O? 氣源。具體配置如下：

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一、配置要求

1. 主機：空氣冷卻式臭氧發生器，用于為 ALD 反應系統提供穩定、高濃度 O? 氣源，由以下部件組成：

  1.1??臭氧發生單元：微流控放電結構，不需外接冷卻水，支持連續 24?h 穩定運行。

  1.2?★?供氣接口：O??進氣和 O??出氣均為??″?SS316 卡套接口，兼容 ALD 管路。

  1.3??工作壓力調節：內置穩壓模塊，支持 15-25PSIG（可通過外置減壓閥現場調節進氣壓力和恒壓控制）。

  1.4? ▲機箱與防漏：整機不銹鋼密封，耐壓 ≥?150?PSIG，防腐蝕。

  1.5?★?控制系統：有內置或外置顯示屏，實時顯示功率、溫度、進出口壓力、報警信息等；

  1.6??電源：單相?220V，50/60?Hz；最大功耗?≤?200?W。

2. 安裝需求：

  2.1 ▲臺式或壁掛結構，尺寸 ≤?200?mm?(W)?×?200?mm?(H)?×?400?mm?(D)；重量 ≤?10kg，便于近源布置。

3. 安全與診斷：

  3.1★配套有臭氧濃度測試器和臭氧破壞器用于在線監測以及安全尾氣處理，測試器需具有數據存儲功能以備后期查驗

  3.2★具備過壓、欠壓、過溫、冷卻風扇異常、放電室進水等多重自檢與聯鎖保護功能，異常自動停機并彈出報警界面。

二、技術性能要求

1. ★臭氧產量：≤15?g/h（O?）

2. ★ 最高臭氧濃度：≥?10?%?(wt/wt)

3. O? 進氣流量：0.1–1?SLPM 可調

4. O?/氧混合氣出口流量 ≥ 0.1 ?SLPM 可調

5. 啟動時間：≤?2?min 達到穩定輸出

6. 穩定性：8?h 連續運行濃度波動 ≤?±2?%

7. ▲噪聲等級 ≤?55?dB?(A) @1?m

8. 冷卻方式： 空氣冷卻，環境溫度 15–35?℃

9. 機箱防護等級： IP?54 或更高


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